Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Ю. А. Родионов
- Тип: Текст PDF
- Автор:
- Издательство: Инфра-Инженерия(2019)
- Год написания: 2019
- ISBN: 978-5-9729-0337-5, 978-5-04-186562-7
- Страниц: 353
- Язык: Русский
910 руб.
Отложить
- Жанры: Электроника, Учебники и пособия для вузов
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
