Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы. Аскер Кушхов и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: МИСиС(2018)
- Год написания: 2007
- Страниц: 14
- Язык: Русский
548 руб.
Отложить
- Жанры: Практикумы, Электроника
- Описание
- Фрагмент
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
