Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники. Коллектив авторов
- Тип: Текст PDF
- Автор:
- Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”(2021)
- Год написания: 2020
- ISBN: 978-985-08-2521-6, 978-5-04-337260-4
- Страниц: 263
- Язык: Русский
650 руб.
Отложить
- Жанры: Электроника
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
