Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Дмитрий Крутогин и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: МИСиС(2018)
- Год написания: 2015
- Страниц: 9
- Язык: Русский
224 руб.
Отложить
- Описание
- Фрагмент
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
