Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки. Коллектив авторов
- Тип: Текст PDF
- Автор:
- Издательство: Издательство ЛАНЬ(2023)
- ISBN: 978-5-507-45480-8
- Страниц: 215
- Язык: Русский
1066 руб.
Отложить
- Жанры: Учебники и пособия для вузов
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
