Технологии субмикронных структур микроэлектроники. Коллектив авторов
- Тип: Текст PDF
- Автор:
- Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”(2019)
- Год написания: 2018
- ISBN: 978-985-08-2298-7, 978-5-04-158515-0
- Страниц: 273
- Язык: Русский
699 руб.
Отложить
- Жанры: Электроника, Учебники и пособия для вузов, Материаловедение
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
