Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды. А. Т. Каменихин и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)(2023)
- Год написания: 2020
- ISBN: 978-5-7038-5384-9
- Страниц: 64
- Язык: Русский
144 руб.
Отложить
- Описание
- Фрагмент
Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н. Э. Баумана.
