Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Геннадий Кузнецов
- Тип: Текст PDF
- Автор:
- Издательство: МИСиС(2018)
- Год написания: 2005
- Страниц: 5
- Язык: Русский
248 руб.
Отложить
- Описание
- Фрагмент
В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.