Проведение научных экспериментов в наноинженерии. В. А. Шахнов и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)(2024)
- Год написания: 2015
- ISBN: 978-5-7038-4141-9
- Страниц: 133
- Язык: Русский
180 руб.
Отложить
- Жанры: Учебники и пособия для вузов, Электроника
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).
