Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus. А. А. Глушко
- Тип: Текст PDF
- Автор:
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)(2024)
- Год написания: 2015
- ISBN: 978-5-7038-4177-8
- Страниц: 63
- Язык: Русский
144 руб.
Отложить
- Жанры: Проектирование, Учебники и пособия для вузов
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».
