Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства. П. С. Маринушкин и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Сибирский федеральный университет(2021)
- Год написания: 2020
- ISBN: 978-5-7638-4263-0, 978-5-04-355467-3
- Страниц: 70
- Язык: Русский
149 руб.
Отложить
- Жанры: Учебники и пособия для вузов, Программы, Проектирование
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрены математические модели, которые описывают приборные полупроводниковые структуры, технологические процессы их создания и программные средства, обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 «Электроника и наноэлектроника». Может быть рекомендовано студентам всех специальностей и направлений укрупненной группы 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».














