Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение. Александр Михайлович Ефремов и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Издательская фирма "Физико-математическая литература"(2016)
- Серия: Фундаментальная и прикладная физика
- Год написания: 2013
- ISBN: 978-5-9221-1406-6, 978-5-457-96561-4
- Страниц: 217
- Язык: Русский
- Жанры: Физика, Физическая химия, Прочая образовательная литература
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.