Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 1. Сканирующая зондовая микроскопия. Борис Кольцов и др.

• Тип: Текст PDF
• Авторы: Борис Борисович Кольцов, Нина Ивановна Филимонова
• Издательство: Новосибирский государственный технический университет(2018)
• Год написания: 2013
• ISBN: 978-5-7782-2158-1, 978-5-04-113147-0
• Страниц: 134
• Язык: Русский

• Жанры: Учебники и пособия для вузов

Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».