Главная / Категории / знания и навыки / учебная и научная литература / технические науки / техническая литература

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. Дмитрий Духопельников

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

Рады Вам также предложить