Лазеры в микро- и наноэлектронике. А. В. Палий и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Южный Федеральный Университет(2019)
- Год написания: 2018
- ISBN: 978-5-9275-3083-0, 978-5-04-171570-0
- Страниц: 113
- Язык: Русский
144 руб.
Отложить
- Жанры: Электроника, Приборостроение, Учебники и пособия для вузов
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
