Ионная и фотонная обработка материалов. Станислав Константинов и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Вышэйшая школа(2022)
- ISBN: 978-985-06-3395-8, 978-5-04-505316-7
- Страниц: 249
- Язык: Русский
281 руб.
Отложить
- Описание
- Фрагмент
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
