Физические основы микро- и нанотехнологий. Сергей Бычков и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана(2016)
- Год написания: 2009
- ISBN: 978-5-7038-3319-3
- Страниц: 176
- Язык: Русский
236 руб.
Отложить
- Жанры: Физика, Учебники и пособия для вузов, Машиностроение, Электроника
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».
