Физические основы кремниевой наноэлектроники. Г. И. Зебрев
- Тип: Текст PDF
- Автор:
- Издательство: Лаборатория знаний(2015)
- Серия: Нанотехнологии
- Год написания: 2020
- Возрастная категория: 12+
- ISBN: 978-5-00101-830-8
- Страниц: 243
- Язык: Русский
220 руб.
Отложить
- Жанры: Учебники и пособия для вузов, Электроника, Физика
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
