Электромеханические микроустройства. Н. И. Мухуров и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”(2014)
- Год написания: 2012
- ISBN: 978-985-08-1419-7, 978-5-457-64072-6
- Страниц: 259
- Язык: Русский
- Жанры: Физика, Приборостроение, Техническая литература, Отраслевые издания
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов.