Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. Дмитрий Духопельников
- Тип: Текст PDF
- Автор:
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана(2016)
- Год написания: 2014
- ISBN: 978-5-7038-3798-6
- Страниц: 57
- Язык: Русский
118 руб.
Отложить
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
